大学化学 >> 2012, Vol. 27 >> Issue (3): 1-8.doi: 10.3969/j.issn.1000-8438.2012.03.001

今日化学    下一篇

电化学微/纳米加工技术

张杰1, 贾晶春1, 朱益亮1, 韩联欢1, 袁野1, 时康1, 周剑章1,2, 田昭武1,2, 田中群1,2, 詹东平1,2   

  1. 1. 厦门大学化学化工学院化学系 福建厦门 361005;
    2. 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室 福建厦门 361005
  • 发布日期:2012-06-25
  • 通讯作者: 詹东平 E-mail:dpzhan@xmu.edu.cn
  • 基金资助:

    国家自然科学基金(No.91023006,91023047,91023043);中央高校基本科研业务费专项资金(No.2010121022)

电化学微/纳米加工技术

张杰1, 贾晶春1, 朱益亮1, 韩联欢1, 袁野1, 时康1, 周剑章1,2, 田昭武1,2, 田中群1,2, 詹东平1,2   

  • Published:2012-06-25

摘要: 介绍电化学微/纳米加工技术,特别是厦门大学电化学微/纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术,旨在让广大师生了解这一特种加工技术,共同促进我国电化学微/纳米加工技术的研究及产业化进程。

关键词: 微/纳米加工技术, 电化学微/纳米加工, 约束刻蚀剂层技术