电化学微/纳米加工技术

doi:10.3969/j.issn.1000-8438.2012.03.001

大学化学 >> 2012, Vol. 27 >> Issue (3): 1-8.doi: 10.3969/j.issn.1000-8438.2012.03.001

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电化学微/纳米加工技术

张杰¹, 贾晶春¹, 朱益亮¹, 韩联欢¹, 袁野¹, 时康¹, 周剑章^1,2, 田昭武^1,2, 田中群^1,2, 詹东平^1,2

1. 厦门大学化学化工学院化学系福建厦门 361005;
2. 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室福建厦门 361005

发布日期:2012-06-25
通讯作者: 詹东平 E-mail:dpzhan@xmu.edu.cn
基金资助:
国家自然科学基金(No.91023006,91023047,91023043);中央高校基本科研业务费专项资金(No.2010121022)

电化学微/纳米加工技术

张杰¹, 贾晶春¹, 朱益亮¹, 韩联欢¹, 袁野¹, 时康¹, 周剑章^1,2, 田昭武^1,2, 田中群^1,2, 詹东平^1,2

Published:2012-06-25

摘要/Abstract

摘要： 介绍电化学微/纳米加工技术,特别是厦门大学电化学微/纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术,旨在让广大师生了解这一特种加工技术,共同促进我国电化学微/纳米加工技术的研究及产业化进程。

张杰, 贾晶春, 朱益亮, 韩联欢, 袁野, 时康, 周剑章, 田昭武, 田中群, 詹东平. 电化学微/纳米加工技术[J]. 大学化学, 2012, 27(3): 1-8.

张杰, 贾晶春, 朱益亮, 韩联欢, 袁野, 时康, 周剑章, 田昭武, 田中群, 詹东平. 电化学微/纳米加工技术[J]. University Chemistry, 2012, 27(3): 1-8.

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