大学化学 >> 1996, Vol. 11 >> Issue (5): 42-44.doi: 10.3866/PKU.DXHX19960514

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铝阳极氧化膜成长的现场椭圆法研究

陈声培   

  1. 厦门大学化学系 福建361005
  • 发布日期:1996-09-15

铝阳极氧化膜成长的现场椭圆法研究

陈声培   

  • Published:1996-09-15

摘要: 用椭圆法(elipsometry)对3%酒石酸溶液中(pH=5.5)铝阳极氧化膜的成长过程进行了现场(insitu)研究。控制不同阳极极化电压测量得出的椭圆仪数据(Δ和Ψ),经曲线拟合最优化分析,结果表明:Al电极表面生成的Al2O3膜是一种较均匀、致密的单层膜,其厚度与阳极氧化电压呈线性增长关系,斜率约为1.35nm/V。