大学化学 >> 2015, Vol. 30 >> Issue (3): 51-55.doi: 10.3866/pku.DXHX2010351

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化学气相沉积法制备α-Fe2O3薄膜及其性能测试——推荐一个材料化学实验

刘斌, 杨建辉   

  1. 西北大学化学与材料科学学院 合成与天然功能分子化学教育部重点实验室 陕西西安 710069
  • 发布日期:2015-06-25
  • 通讯作者: 刘斌 E-mail:liubin@nwu.edu.cn
  • 基金资助:

    国家基础人才培养基金(Nos.J1103311,J1210057);西北大学实验教学项目(No.20120011)

Characterization of α-Fe2O3 Film Prepared by MOCVD Method

Liu Bin, Yang Jianhui   

  1. Key Laboratory of Synthetic and Natural Functional Molecule Chemistry of Ministry of Education, College of Chemistry & Materials Science, Northwest University, Xi'an 710069, Shaanxi, China
  • Published:2015-06-25

摘要:

以配合物乙酰丙酮铁为前驱体,利用超声雾化的方法进行化学气相沉积制备α-Fe2O3薄膜,并对其结构和性能进行测试表征。

关键词: 超声雾化, α-Fe2O3薄膜, 化学气相沉积(MOCVD)

Abstract:

Using Fe(acac)3 (acac=acetylacetone) as the solid source, α-Fe2O3 thin film was prepared by metal organic chemistry vapour deposition (MOCVD) method with ultrasonic nebulization device. The structural, electrical and optical properties of the film were characterized.

Key words: Ultrasonic nebulization, α-Fe2O3 thin film, Chemical vapor deposition

MSC2000: 

  • O6