大学化学 >> 2003, Vol. 18 >> Issue (1): 7-11.doi: 10.3969/j.issn.1000-8438.2003.01.002

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扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势

宫建茹, 万立骏, 白春礼   

  1. 中国科学院化学研究所 北京100080
  • 发布日期:2003-01-15

扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势

宫建茹, 万立骏, 白春礼   

  • Published:2003-01-15

摘要: 介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展,并讨论了该技术的发展趋势