超越石墨烯：二维纳米材料

常泰维,刘正,鲁亮,孙泽昊

Beyond Graphene: 2D Nanostructured Materials

Tai-Wei CHANG,Zheng LIU,Liang LU,Ze-Hao SUN

表1 不同CVD法合成二维纳米材料[1]

二维纳米材料 制备前体 气相沉积方法 T/℃ BN 环硼氮烷 APCVD 400(1000) BN B10H14/NH3 Thermal CVD 1000 BN B2H6/NH3 LPCVD 1025 BN B/MgO/FeO/NH3 Thermal CVD 900-1200 BN BF3/H2/N2 MPCVD 800 BN BCl3/NH3/H2/N2 Thermal CVD 1000 BN B2O3/C3N3(NH2)3 Thermal CVD 1100-1300 hybrid h-BNC CH4/氮硼烷 Thermal CVD 900-1000 MoS2 Mo/S Thermal CVD 750 MoS2 MoO3/S Thermal CVD 650