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ISSN: 1000-8438
CN: 11-1818/O6
大学化学
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用于光刻技术的新型化学放大光刻胶
宋琦
用于光刻技术的新型化学放大光刻胶
宋琦
大学化学 . 1999, (
5
): 49 -49 .
