面向光刻技术教学创新的本科综合实验设计——纳米晶的直接光刻图案化
郭玥, 胡孟熙, 孔新珂, 管杰, 王诗羽, 宋荣斌, 张盼科, 王元元
An undergraduate comprehensive experiment for teaching innovation in lithography: direct photopatterning of nanocrystals
Yue Guo, Mengxi Hu, Xinke Kong, Jie Guan, Shiyu Wang, Rongbin Song, Panke Zhang, Yuanyuan Wang
大学化学
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2026, (): 2604074
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DOI: 10.12461/PKU.DXHX202604074
